項目領域：半導體制造，泛芯片制造，微加工

項目簡介：光刻機是微加工的最基礎裝備。無掩膜光刻機（Maskless Aligner）是近年來出現的一個新品類的光刻機。它采用數字投影芯片作為圖案生成器，免去了實體掩膜板，非常適用于小批量試制，節省了掩膜的制作成本和耗時。數字投影技術還帶來了“灰度光刻”新功能，可用于制作未來的微光學器件。

項目單位：北京瑞熒儀器科技有限公司